中图仪器国产台阶仪NS系列是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器。它采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。

SuperViewW国产白光干涉三维形貌仪用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

中图仪器SEM钨灯丝扫描电镜是一款用于对样品进行微观尺度形貌观测和分析的紧凑型设备。不同于立式电镜，CEM3000系列台式扫描电镜无需占据大量空间来容纳整个电镜系统，这使其甚至能够出现在用户日常工作的桌面上，在用户手边实时呈现所得结果。

VT6000共聚焦光学测量显微镜基于光学共轭共焦原理，结合高稳定性结构设计和3D重建算法，共同组成测量系统，保证仪器的高测量精度。主要用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量。

CEM3000系列国产台式扫描电镜仪器外型紧凑，空间适用性强，整机采用大量的抗干扰设计，避免使用环境造成的影响，拓宽了应用范围。同时，该系列台式电镜具有非常丰富的自动调节功能，能够对不同类型的样品进行观测，具有高空间分辨率。

NS系列纳米级台阶高度仪线性可变差动电容传感器（LVDC），具有亚埃级分辨率，13μm量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差，使得产品能扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。