中图仪器SuperViewW1白光干涉三维形貌测量仪用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量，以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数。

NS系列台阶轮廓仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。

在材料生产检测领域中，共聚焦工具显微镜测量表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析，如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。

中图仪器SuperViewW1白光光学干涉仪品牌采用了扫描模块和内部抗振设计，可实现高测量精度重复性和高粗糙度RMS重复性。采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高.

中图仪器VT6000共聚焦3D显微镜是一款用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。主要采用3D捕获的成像技术，它通过数码相机针孔的高强度激光来实现数字成像，具有很强的纵向深度的分辨能力。所展现的放大图像细节要高于常规的光学显微镜，擅长微纳级粗糙轮廓的检测。

NS系列微观表面台阶显微检测仪是利用光学干涉原理，通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度，500万像素高分辨率彩色摄像机，即时进行高精度定位测量。可以将探针的形貌图像传输到控制电脑上，使得测量更加直观。