白光干涉显微测量仪，非接触、三维白光扫描干涉仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。

一键批量分析白光干涉测头,是一款非接触式精密光学测头，其基于白光干涉和精密扫描研制而成，主要由光学干涉系统和Z向扫描系统组成，具有体积小、重量轻、便携的特点

白光干涉仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。原理：非接触、三维白光扫描干涉仪

白光干涉测头 主要特点：便携可搭载 一键批量分析 生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司

​SuperViewW1三维白光干涉形貌仪支持纳米级高度测量，0.4μm级别的线宽测量，最大支持80倍的槽深宽比测量，具备点、线、面相关的宽度、高度、角度、直径等各类轮廓尺寸测量功能。

SuperViewW3大尺寸微观形貌仪白光干涉测量各种产品、部件和材料表面的粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、高校科研院所等领域中。