中图仪器SuperViewW1非接触式光学轮廓仪器以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等等领域。是一款非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。

中图仪器3d光学检测轮廓仪可测量程范围内的三维尺寸，不过主要还是用于检测样品表面的粗糙度、台阶高、微观几何轮廓等参数。

中图仪器SuperViewW1光学3d轮廓仪设备载物台（XY）局部位移精度和线性精度为亚微米，Z向运动精度可达数纳米，线性精度可达亚纳米级别。

W1光学轮廓仪是通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，分辨率0.1μm，重复性0.1%，应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。

3d光学轮廓测量仪可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，能达到微型范围内重点部位的纳米级粗糙度、轮廓等参数的测量。广泛应用于如纳米材料、航空航天、半导体等各类精密工件表面质量要求高的领域中。

SuperViewW1光学轮廓仪器广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。