VT6000材料共聚焦3D测量显微镜一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。所展示的图像形态细节更清晰更微细，能够提供色彩斑斓的真彩图像便于观察。

VT6000超分辨率转盘共聚焦显微镜以共聚焦技术为原理，结合精密纵向扫描等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，是实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

VT6000国产转盘共聚焦显微镜所展示的图像形态细节更清晰更微细，横向分辨率更高，擅长微纳级粗糙轮廓的检测，能够提供色彩斑斓的真彩图像便于观察。

VT6000共聚焦工件表面微观形貌检测显微镜一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。它在材料生产检测领域中，测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。

VT6000三维光学轮廓共聚焦材料显微镜基于光学共轭共焦原理，可对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。

中图仪器VT6000共聚焦晶圆沟槽轮廓尺寸测量显微镜基于光学共轭共焦原理，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，实现器件表面形貌3D测量。