SuperViewW白光干涉三维形貌轮廓仪纳米级分辨率,非接触式测量各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。
SuperViewW1白光干涉三维表面测量系统以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。它集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。
中图仪器国产白光干涉仪品牌产品不通倍率的镜头,适应于从超光滑到粗糙度各种表面类型的样品。仪器外壳与内部运动机构采用了分离式设计,有效隔离了声波振动的传导;外接气源和加压装置直接充气的双通道气浮隔振系统,可有效隔离地面传导的振动噪声。
SuperViewW系列白光干涉三维形貌仪轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理,特殊光源模式可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。
SuperViewW白光干涉表面形貌3D测量仪利用光学干涉原理研制开发的超精细表面轮廓测量仪器,主要用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。
SuperViewW白光干涉3D表面形貌测量仪基于白光干涉原理,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。它具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精细器件的过程用时短,确保了高款率检测。
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