SJ6000导轨误差激光干涉测量仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点,结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。
SJ6000高精度环境补偿激光干涉仪采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿。
SJ6000三坐标几何误差激光干涉测量仪利用激光干涉现象来实现非接触式测量,具有高精度、高分辨率、快速测量等优点。可以检测三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。
SJ6000数控机床精度激光干涉检测仪集光、机、电、计算机等技术于一体,采用激光双纵模热稳频技术,具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点。
SJ6000激光干涉仪精密测量及校准系统利用激光干涉现象来实现非接触式测量,具有高精度、高分辨率、快速测量等优点。结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。
SJ6000国产激光干涉仪测量系统非接触式、高精度的特点使其适用于各种复杂的运动系统,不仅仅局限于运动导轨,还可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。
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